INFICON SKY CDG100D真空计是高精度总压强测量和控制的*选择。为达到优异的半导体和等离子过程要求的性能,将CDG100D真空计的温度控制于100度。全量程范围从100毫乇至1000乇,配有全部常用的法兰型式和Fieldbus接口,和提供线性的0至10伏与气体类型无关的压强讯号。INFICON电容真空计采用超纯抗腐蚀的氧化铝陶瓷膜片。陶瓷传感器的优点是讯号稳定性好,从大气压恢复快,预热时间短和超长的使用寿命。INFICON CDG是高质量,成本效益好的压强传感器,用于半导体,等离子和各项要求高的真空应用中。
优越性:
- 低CoO(拥有成本),50%快速预热,能效高,功耗低
- 易整合于系统中,宽量程范围,法兰和接口,标准型号带有两个设点
- 简易的一键操作或遥控讯号调零指令,零点偏离可调
- 诊断端口用于快速检修和维护
- 两年保用期,采用*的加热概念和规管保护,真空计使用寿命长
- 由于的讯号稳定性和可重复性,即使在严酷的等离子应用条件下仍可*使用,无需重新校准
- 符合标准:CE,EN,UL,SEMI,RoHS
用途:
- 刻蚀,PVD,CVD和其它半导体生产过程
- 化学和腐蚀性高温过程
需要真空计保护的常用薄膜和真空过程
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