CDG025D-C INFICON SKY 电容膜片真空计

SKY AllCeramic CDG全部显露于真空的表面由超纯氧化铝陶瓷构成，替代常规CDG的不锈钢材料，本产品适用于必须避免金属污染的应用中。

CDG025D-C INFICON SKY 电容膜片真空计

优势：

1、          无金属污染。

2、          临界的零点漂移。

3、          事实上的耐腐蚀性-长传感器的寿命的结果是减少停机时间。

4、          从而阶段拥有的成本。

5、          在整个长的运行周期中优等的精度和重复性。

6、          更好的*稳定性和温度稳定性。

7、          对频繁暴露于大气不敏感。可免除隔离阀（取决于工作模式）

8、          由于保护性屏蔽（Suprashield）,对微粒和过程副产物不敏感。

CDG025D-C INFICON SKY 电容膜片真空计

用途：

1、          刻蚀、CVD和PVD工艺过程。

2、          采用注入或按扩散工艺的硅掺杂过程。

3、          氧化过程。

4、          产生膜厚为100A范围的栅氧化层。

5、          产生阻挡（Ti,TiN,Ta和TaN作为硅与铝或铜之间的保护膜层）