复合型真空计的详细介绍

特点：

■任意方向安装

■放空快速响应，缩短周期时间

■快速与可靠的读值，无需大气压调节

■单一对数/线性模拟输出讯号

■易于工艺集成

■小型结构，节省有价值的工艺空间

应用：

■自锁

■前级压强监测

■真空系统中的安全电路

■在中真空和粗真空范围内一般测量与控制

■控制高真空电离真空计

CDG采用直接测量单位面积力的原理，避免了过程时间的延迟。这个精度与响应时间的改进消除了在抽空和放空过程中的过冲现象。PCG装备有INFICON的皮拉尼技术，在传感器的整个测量范围内产生优异的响应时间特性，提高产量和生产率。