氦质谱检漏仪为气体工业生产专用名词，用氦气或是氡气作示漏气体，以气体检测仪检验氦气而开展检漏的质谱仪器。氦气的本底噪音低，含量及黏滞指数小，因此易根据漏孔并易蔓延；此外，氦系可塑性气体，不浸蚀机器设备，故常见氦作示漏气体。将这类气体喷入连有气体检测仪（调节到仅对氦气反映的运行状态）的被检器皿上，若器皿有漏孔，则检测仪即有一定的反映，进而得知漏孔所属及漏汽量尺寸。
技术专业用以发电厂检漏的氦质谱检漏仪。核心部件均为進口，特性平稳靠谱。不但敏感度高，并且实际操作便捷，可以双钨丝全自动转换、全自动调零、全自动校正和全自动测量范围转换。
操作方法：
氦质谱检漏技术性是真空泵检漏行业里不能缺乏的一种技术性，因为检漏率，简单易实际操作，仪器设备反映灵巧，高精度，不容易受别的气体的影响，在电加热炉检漏中获得了广泛运用。氦质谱检漏器是依据质谱分析学基本原理，用氦气作示漏气体做成的气密性检测仪器设备。由离子源、解析器、回收器、冷阴极水解规构成的质谱分析室和抽真空系统软件及电气设备一部分等构成。质谱分析房内的钨丝发送出去的电子器件，在房间内往返地震荡，并与房间内气体和经漏孔进到房间内的氦气互相撞击使其水解成正离子，这种氦正离子在加快静电场功效下进到电磁场，因为洛伦兹力功效造成偏移，产生圆弧状路轨，更改加快工作电压可使不一样品质的正离子根据电磁场和接受缝抵达接受极而被检验。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电加热炉检漏中见的二种方式。
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