Aerotech qnp2双轴压电纳米定位平台

关键词：纳米定位平台/压电平台/压电双轴定位平台

QNP2系列XY并联运动压电定位平台在紧凑，小巧的封装中结合了亚纳米级分辨率，高动态性能和几何性能。QNP2系列压电平台具有大的，清晰的孔径，闭环行程可达200 µm x 200 µm（开环行程为240 µm x 240 µm）。该设计非常适合光学显微镜，扫描探针显微镜，X射线透射显微镜或需要两侧零件访问的其他检查或制造应用。

XY双轴压电陶瓷平台：
移至240 µm x 240 µm
大方形透明光圈，70 mm x 70 mm
通过并联运动设计实现多轴精度
高刚度和动态特性，可实现高工艺产量，无摩擦的挠性导向
正在申请的设计提供了的几何性能
设备寿命长
具有直接计量电容传感器的出色定位分辨率和线性度
开环和真空版本

Mechanical Specifications

XYZ双轴压电陶瓷平台：

QNP3系列XYZ并联运动压电定位平台在紧凑的小尺寸封装中结合了亚纳米分辨率，高动态特性和几何性能。QNP3系列压电平台具有大的，清晰的孔径，闭环行程可达200 µm x 200 µm x 20 µm（开环行程为240 µm x 240 µm x 25 µm）。该设计非常适合光学和扫描探针显微镜或其他检查或制造应用，这些应用需要通过三个DoF操作来进行两侧零件的访问。

移至240μmx 240μmx 25μm
大方形透明光圈，可达66 mm x 66 mm
通过平行运动设计实现多轴精度
高刚度和动态特性，可实现高工艺产量，无摩擦的挠性导向
正在申请的设计提供了的几何性能
设备寿命长
具有直接计量电容传感器的出色定位分辨率和线性度
开环和真空版本

并联运动设计

QNP2压电位移台采用平行运动的弯曲和计量设计，可确保水平的多轴精度。借助经过FEA优化的挠曲，以确保高刚度和长使用寿命，QNP2位移台具有的刚度和共振频率，从而实现了高工艺通量和快速的闭环响应。

使用正在申请的驱动器设计，可将偏航误差小化，同时仍保持符合Abbe标准的计量系统。这种设计可在整个XY行程空间内实现的定位性能。

亚纳米性能

所有QNP2压电级均可提供闭环反馈（-C）或开环（无反馈）。的电容传感器并行测量设计可测量定位支架的输出，直接实现亚纳米分辨率，低于0.01％的线性误差和一位数纳米可重复性。

超控制

与Aerotech的Q系列控制器和驱动器配合使用时，QNP2位移台具有亚纳米级的定位分辨率，在位稳定性（抖动）和高定位带宽。诸如Aerotech的Dynamic Controls Toolbox和Motion Designer软件包之类的软件选件提供了许多而易于使用的工具，例如Learning Control，Harmonic Cancellation和Commａnd Shaping，从而改善了跟踪误差并缩短了分步和稳定时间。还提供OEM驱动