湖北武汉IH600爱德华螺杆泵维修，半导体真空泵维修保养。Edwards IH600系列干泵在环境（颗粒，腐蚀物）下有着高可靠性，例如PECVD，LPCVD中。IH600工作在大气压和极限压力之间，无需润滑，这样就确保了油不会被反抽到系统中。IH600系统有一个HCDP80干泵；HCMB-600干泵。IH600系统适用于无风冷电机的洁净环境中。IH600干泵系统还拥有运送清洁气体进入HCDP泵的气体系统，适用于制程物严重的工艺中。使用在较低要求的工艺下可共同改变气体排放模式改变N2消耗量。通过显示终端可手动控制真空系统。另外，可以通过接口模块或即时通讯模块或IH单设备监控器使用其他控制设备去操作IH干泵系统。 半导体晶圆厂的应用包括： LOADLOC 传送 测量 光刻 物理气相沉积工艺 物理气相沉积预清洁 快速热退火 去胶 蚀刻 高密度等离子化学气相沉积 高密度等离子体化学气相沉积快速热处理 大气化学气相沉积sacvd 钨化学气相沉积

等离子体增强化学气相沉积 低压化学气相淀积。

规格参数：

Edwards  IH600

项     目 参     数

Inlet Connection ISO 100

Outlet Connection NW40

Peak Speed 518 m3h1

8635 1min-1

305 CFM

Ultimate Vacuum 2 x 10-3 mbar

1.5 x 10-3 Torr

Power bbbbb at vacuum 3.1 kW

Rated Motor Power 5.1 kW

Weight 913 kg/lbs.

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