赛默飞（原FEI） PFIB扫描电镜 Thermo Scientific™ Helios™ 5 Laser PFIB提供了的能力，大体积3D分析，Ga-free样品制备，和精密微加工。具有创新的，*集成的飞秒激光器，它提供的材料去除率和的切割面质量，是毫米尺度范围纳米分辨率下的高质量亚表面和三维表征设备。
赛默飞（原FEI） PFIB扫描电镜飞秒激光PFIB
体积：2000×2000×1000μm3束流：~1mA（等效于离子束电流）
切割束流：74μA
束斑尺寸：15μm
激光集成：3束(SEM/PFIB/激光)*集成在样品室中，并具有相同的重合点，
实现精确、可重复的切割位置和三维表征。
一次谐波：波长1030 nm（红外），脉冲宽度<280 fs
二次谐波：波长515 nm（绿），脉冲宽度<300 fs
电子光学：
☆ 三束重合点 WD=4 mm（与SEM/FIB相同）
☆ 可变物镜（电动）
☆ 偏光：水平/垂直
☆ 重复率： 1 kHz~1 MHz
☆ 光束定位精度：<250 nm
保护挡板：自动SEM/PFIB保护挡板
软件：
☆ 激光控制软件
☆ 激光三维连续切片工作流程
☆ EBSD激光三维连续切片工作流程
☆ 激光编程控制脚本*
安全性：互锁式激光防护罩（1 类激光安全）
☆ 的毫米级横截面材料去除，材料去除率比典型的Ga + FIB要快15,000倍
☆ 通过在更短的时间内采集更大的体积来实现统计学相关的表面下和三维数据分析
☆ 准确、可重复的切割位置，三束交于样品上同一点
☆ 通过提取表面下TEM薄片或块体进行三维分析来实现深层表面下特征快速表征
☆ 实现对不导电或对离子束敏感等具有挑战性的材料进行高吞吐量处理
☆ 实现对空气敏感样品的快速和简单表征，无需在不同仪器之间传送样品来进行成像和获取横截面
☆ Helios 5 PFIB平台的所有功能都非常可靠，包括质量的无镓 TEM和APT样品制备以及*分辨率成像能力
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