[概述]
-传感器真空计系列的离子计。
-离子计(热阴极电离真空计)具有良好的重现性和线性度,并且可以测量各种压力,这是真空计的一项出色功能。
-传感器使用微型仪表(MG-2I型)。
[特点]
-宽压力测量范围。
?可以在超过溅射工艺的低真空区域进行10至7功率Pa至10 Pa的测量,而不会牺牲超高真空侧的特性。
-高响应模拟输出。
-压力值模拟信号输出可确保100毫秒内的高响应度,也可用于过程压力控制。
?四种发射电流设置模式。
-可以根据用途进行选择,例如在高压区域侧使用时可以改善灯丝寿命。
-节省空间和低功耗。
[应用]
-生产真空设备的压力测量。
-半导体溅射设备的压力测量。
?各种真空装置。
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