产品简介： 通过用传感器测量基板的应变，可以实时测量镀层的内应力。可以通过一次测量来测量每个电镀时间的应力（膜厚）。另外，还可以测量已镀过一次的膜再镀时的应力。可以测量传统应力计无法检测到的微小应力。精密电镀电源YPP系列的插槽中插入了专用的应力计板。特征● 符合JIS H8626标准。● 即使是微弱的应力也可以测量。适用于测量薄膜、晶圆等弱产品。（从0.5μm以上的膜厚可以进行准确的测量）● 也可以测量其他方法无法测量的初始应力。● 适用于微小零件。● 传感器获得的数据立即输入连接电源的PC，PC上自动计算应力值，无需计算。此外，使用个人计算机实时显示和存储测量期间的数据。