划片机：
AD3000T-HC PLUS

12英寸兼容全自动划片机
通过在晶圆处理和框架处理之间自动切换，有助于降低切换和停机风险。

特征

新图形用户界面

• WH/FH 自动切换

  通过在晶圆处理和框架处理之间自动切换，它有助于降低切换和停机的风险。

• FOUPS Opener 标准设备

  FOUP 盖的自动打开和关闭降低了批量处理过程中晶圆破损和感染污染的风险。

• 作为标准安装的非接触式工件厚度传感器

  配备空气微传感器，可测量工件厚度

• 通过缩小选件单元和优化内部设计，可以内置主选件单元。

• 标配转速6万转的主轴

  （80,000 rpm 规格可供选择）

• 增加吞吐量

  (1) X 轴速度 1,000 毫米/秒，Y 轴速度 300 毫米/秒，Z 轴速度 80 毫米/秒
  (2) 配备两个光学刀具组 (
  3) 世界上小的刀片间距

• 17英寸触摸屏液晶显示器+GUI

  配备GUI（图形用户界面），易于阅读的屏幕配置和大按钮提高了可操作性，并采用了交互式且易于理解的输入格式。

• 配备小腿检查功能，无需复杂的参数设置

  （AI小腿检查功能）

• 可在 HDD 中管理 10,000 多个配方数据

• 标配USB接口

  （USB 存储器可用作外部存储设备）

• 提高可维护性

  通过增加前检修门的尺寸来提高可维护性

• 切割台面内校正功能（Active-Z）

  通过修正工作台表面的高度变化，实现的高度控制

安装空间

与传统型号相比，AD3000T-HC PLUS 成功地缩小了尺寸。