石英振动体型

实现低损伤和高清洁度的下一代清洁

2006年，石英振动体式超声波清洗机组在世界上投入实际使用。
在该方法中，通过在石英振荡器上叠加超声波来清洁半导体晶片。
与间歇式清洗和流水式清洗相比，可以减少化学品的使用量，并且由于接液部分仅为石英玻璃，并且填料等橡胶材料不与液体接触，因此可以保持高清洁度
另外，根据用途准备石英振子的形状，可以满足低损伤清洗、大面积清洗、斜面部分（端面）和槽口（晶圆端面的槽口）的清洗等需求. 它可以实现清洁。

概述

特征：

清洗具有低损伤的微型图案的晶片
将超声波叠加在石英振荡器上以清洗
半导体晶片 将化学溶液浸入半导体晶片中并通过石英玻璃传播超声波振动，接触区域化学溶液振动并加速去除表面的污垢。
实现对半导体晶圆损伤少的清洁清洁 与
化学品接触的部分使用石英，与包装等使用橡胶材料的设备相比，没有橡胶的溶出或磨损，可实现清洁清洁。
具有振子冷却功能，通过气体（氮气等）冷却振子，可实现无频率波动的稳定连续运行。
此外，通过冷却，没有突然的温度变化，延长使用寿命。

去除抗蚀剂残留物磨边后，灰化后去除聚合物栅电极清洁CMP 后清洁

规格

■ 振荡器

可变输出范围：0W 至 12W（振动体的允许输入：使用空气吹扫来冷却振荡器时连续 10W）
工作环境：温度：15 至 35°C，湿度：10 至 85%
外部驱动触点额定值：超声波振荡控制（控制侧） 接点输入：DC12V 16mA 以上
报警输出（仪表） 接点容量：DC24V 0.5A
附属电缆：电源线（100V 2m / 200V 3m）、控制线（5m）x4

振动体

工作液体温度范围：20 至 50 ℃
振荡器：PZT
材料：振动体：石英玻璃，填料：硅橡胶，外壳：PCTFE
线长：输出线 1.5m + 中继线 3.5m
空气净化配件：兼容管子（外径φ6）

2MHz 和 3MHz 也可作为定制规格提供。