XM 系列 chao 高 性能线性平移台可提供持续、可靠的动力性能，运动精度可以达到 1 nm。如此强大的定位能力使其成为各种要求苛刻、突破性应用的理想选择。

• 性能 chao 高，zui 小 增量运动为 1 nm

• 非接触直接驱动系统，精度 chao 高、动态性能且操作可靠

• 亚纳米级玻璃标度编码器，重复精度为 80 nm

• chao 大 型无铁心线性电机可 zui 大 限度地减少发热

• chao * 抗蠕变交叉滚子轴承可确保无波纹运动

• 可选花岗岩底座可确保超平稳安装条件以实现性能

产品规格

注释:

1. Maximum speed is driver dependent. Contact Newport for additional information.

2. MIM depends on driver type and environment, refer to data sheet for more information.

3. Continuous motor force is driver dependent. Contact Newport for additional information.

4. Middle 80% of travel. To obtain arcsec units, divide the µrad value by 4.8.

5. Middle 80% of travel.

特征

适用于激光加工应用

XM平移台是激光微加工、标记、切割和纳米图案形成等应用的理想平移台。此视频显示两个XM平移台堆叠在由NewportXPS控制器驱动的2轴(XY)系统中，用于与振镜扫描器同步的复杂、平滑、chao 高 精度运动。

3轴超

XM系列直接驱动平移台为苛刻的应用提供 chao 高 精度运动。此视频显示由两个XM平移台和一个xms-v垂直平移台组成的组件，该组件提供3个轴(XYZ)的运动，可用于聚焦、传感器测试/校准、直接激光光刻和组装等应用。

可以通过命令控制 1 nm 位移步长

超设计和 Heidenhain 光栅尺使 XM 线性平移台系列能够在受控环境中通过一致的命令控制 1 nm MIM。

XM-S平移台能够在受控环境中使用XPS-D控制器进行1-nm增量运动。

的中心驱动、无铁、直接驱动线性电机

与螺钉驱动平移台不同，XM采用中心驱动、无铁芯线性电机作为驱动元件。由于线性电机是无摩擦的直接驱动设备，因此没有限制运动性能的侧隙或滞后、卷绕或静摩擦。线性电机驱动器还具有更高的速度、加速度和系统响应性的优点，同时没有电机电刷或驱动螺钉的磨损。chao 大、无铁芯电机线圈能确保零齿槽，实现超平滑速度控制，与其他平移台设计相比，具有更高的效率。这将导致产生的热量减少，发热通常是超运动应用的主要限制因素。为了进一步 gai 善 热管理及其对平移台性能的影响，XM 平移台还具有一个优点，其磁轨和平移台托架之间采用了成熟的全程去耦机制。

XM平移台在连续扫描或激光加工应用中提供速度稳定性。

显示的是使用干涉仪以1 kHz的速率收集的XMS50的速度。

配套的抗蠕变交叉滚子轴承可实现 chao 高 控制

为了确保 jing 确 的轨迹控制，XM平移台具有配套的同类 zui 佳 防蠕动式交叉滚子轴承对。这些轴承中没有再循环元件，因此可以为苛刻的扫描和检测系统提供充足的无波纹运动。而且，齿轮保持架会防止轴承罩移位，其他直线轴承产品可能出现此类移位。

线性误差校正后XMS50-S平移台的精度，当级以100毫米/秒的速度运动时，

以10 khz的速率动态测量。

面向 zui 佳 XY 组件的 T 形托架设计

在 XM 上使用的 T 形托架为 XY 组件提供了 zui 佳 解决方案，同时不会影响平移台预载荷。与具有 C 形托架设计的平移台相比，它更加坚固，并能适应非理想的安装条件。

具有超表面平整度的花岗岩底座

表面平整度是影响运动系统定位精度和可重复定位精度的主要因素。经过研磨的花岗岩板是市面上可以买到的 zui 平坦表面之一。花岗岩具有紧密的平面度公差和 ji 高 的硬度，使其成为补充 Newport 超线性电机 XM 系列平移台的必然选择。GB 系列花岗岩底座采用 3 点安装，可安装在非平面平台上。边缘手柄可用于处理底座以及将底座定位在工作表面上。

误差显示服务

对于苛刻的定位应用，Newport提供微定位校准服务。当我们的XPS gao 级 运动控制系统发出指令时，我们将创建、实施和验证电子补偿过程，从而提高 Newport XM 平移台的 jue 对 位置精度。此外，还可以使用多轴微定位校准服务。 测试在20.0±0.2℃下进行。 您的平移台将提供校准证书，也可根据要求提供实际数据。

用于超可重复移动的高线性玻璃标尺

高线性标尺提供了 jing 确 的位置反馈。该低热膨胀标尺 jing 确 对准并安装在平移台中心，将温度变化对平移台的可重复定位性和定位精度的影响降至 zui 低。编码器信号由具有亚纳米分辨率和小于 1 nm 噪声的 Newport XPS 运动控制器进行插值，从而实现定位灵敏度和稳定性。jue 对 原点位置和 ji 限 信号集成到编码器标尺上，无需任何其他电子或机械结构，便可提高可靠性和精度。

通过制造实现 chao 高 性能

XM平移台是由应力 xiao 除 的高强度铝加工而成，能确保长期的强度和稳定性。所有关键的平移台表面都进行多次加工，然后在严格的温度和质量控制下进行磨削，以进一步提高整体性能和精度。

节省空间的高可靠性设计

所有 XM 平移台电子设备都固定到稳定的底座，因此平移台内部没有移动电缆。这种设计非常紧凑，并具有可靠性和 an 全性。节省空间的固定读头设计避免了在平移台内部添加移动电缆，并了 XM 平移台的稳健性和可靠性，例如将 MTBF 提高到 20,000 小时。

注意：具体请咨询，网上标价不作为实际出售。

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