LMI-直线式测量尺
AMOSIN®——基本信息
AMO公司结合高精度检测技术 ,将栅格以光刻法蚀刻在钢介质上,性地开发了广泛认
可的长度和角度测量技术。基于此,又进一步开发了感应式传感器和集成式电子电路,从而
开发了新一代强大的测量系统。
AMOSIN®长度测量系统主要有两种:一种是开放式、无接触系统,另一种是导轨式、封闭
系统。
AMOSIN®系统,*基于感应,精度高达 +/-5μm/m,具有*的环境适应性,如防尘、
防湿等,同时,拥有*的抗冲击抗机械振动特性。
其高精度得益于严格的钢带制造工艺,也得益于高质量的传感器信号,该信号的正弦波偏差
低至小于 0.1%的谐波含量,因而可用于提高栅格内的插补精度。
从下面的测量原理可以看出,该测量系统不包含任何磁性部件(测量尺和检测头上都没有)。
因此,其与磁性测量相反,不会受到任何形式的电磁影响,也不会发生磁滞。该系统的输出
信号为实时的正弦余弦信号,或方波信号。
一般特征
●集成参考脉冲,距离编码1Vpp/RS-422
● 抗灰尘/IP67
●抗磁场干扰
●精度和分辨率高
● 动态范围大
● 无功能性磁滞现象
新产品特征
●模拟输出信号(1 Vpp),信号周期可达 40μm。
●数字输出 RS-422/TTL,十进制分辨率: 0.25 µm (1000µm/4000),1µm (1000 µm/1000)
●标准工作温度范围扩大到 0~70℃。
●系统精度对操作温度的依赖性大大降低。
●检测头数(检测头和测量尺间的空隙)及其耐受性大大增加
●规定范围内的安装偏差对系统精度的影响大大减少。
●微型化的放大电路,使该电路集成在联结器外壳内。
典型应用
● 机床行业
● 三坐标测量仪
● 直接驱动电机和旋转转台
● 板金机械
● SMT-取放工具
● 测量工具
● 加工刀具
● 印刷机械
● 冲压机械
● 电子生产设备
● 液*和电主轴系列
AMOSIN®——测量原理
AMOSIN测量系统根据带移动磁阻芯的变压器原理工作。变压器一次绕组和二次绕组的互感系数随磁芯的位置而改变。
AMOSIN®系统主要由平面线圈和测量尺组成(图1)。
线圈结构,载有多个沿测量方向排列的绕组单元(每个主单元有一次和二次正弦/余弦线圈),使用微型多层技术在基质上制成。测量尺是一根不锈钢条,其上有使用光刻法蚀刻的变量磁阻高精密刻度(如λ=1000μm)。
相对运动发生在传感器构件(在检测头中)和测量尺之间,沿测量方向,周期性地改变着单个线圈之间的互感系数,从而产生了两种正弦信号,其相位差异为 90°(正弦和余弦)。该信号极其精确,抗环境影响,信号经放大电路(图 2)处理后,与理想的正弦波(谐波) 的偏差不超过 0.1%。这样,就可以将高的细分倍数(进一步的细分)应用到信号数字化过程中。这可以在测量系统自身实现,也可以在后续的电子设备中应用(等)。
CNCAMOSIN®工作原理的一个重要特征是,不会引起任何测量磁滞(机械间隙误差)。与磁系统不同,高频变场抑制了材料的一切磁滞。信号处理电路对传感器信号进行整形和连续细分,在这里,没有采用滤波,而是应用了一种新颖的电路原理。然后,其通过差分接口和线路驱动器,在输出终端提供测量信号,形式是正弦信号,或者是方波信号。
除输出四路周期性的正交信号(A,B及其逆信号)外,也输出一路基准信号。此信号产生于集成在测量尺上的单独标记,无需任何附加部件。
测量精度
测量系统的总误差由下列测量的不精确性引起:
1、刻度的精度——由测量尺的精确性确定
2、栅格内精度——主要由传感器信号的质量和它的计算电路确定。
输出讯号为 1Vpp时,在测量系统中应考虑以下问题:
3、后续电路(控制器内)输入阶段,模拟/数字变频的精度
4、输出信号从检测头传送到后续电路时伴生的噪音
各方面具体说明如下:
1、标尺精度
每一测量尺在线性测试台上测定后,依据规范的精度标准等级签定证书。随机抽取一幅测量
图如下(在理想状态下测量):
2、单独栅格内精度
在 AMOSIN®系统中,这类误差相当小,范围在栅格间距的 0.1%内(1000µm栅格间距,误
差为 1µm)。这样的高精度,不仅是在理想状态下的数据,即使在安装公差和工作温度都超标
时,一样可以保持。每一个检测头都在严格的质量标准下进行了调整和测试。
为限制上面“ 3"和“ 4"所述的误差,在新一代 AMOSIN®系统中使用了新型的输出界面。
在此系统中, 1Vpp的输出信号,其正弦、余弦、参考信号细分开来,且覆盖线路激励器(见
23页信号图)。
如果测量尺的栅格是 1000µm,则栅格细分(D)将实时产生一个信号,与 40µm的栅格相
呼应。
在后续电气设备(控制器等)的计算(A/D转换)中,任何偏差都被这种多口电路减小了,
原因是这种电路中采用了细分电路。此外,该缩短的正弦信号周期,在后续电路中生成了更
加精确的量化,这对需要高动态和静态驱动的场合是非常重要的。
此外,信号细分还削弱了信号传输线路上的干扰信号,削弱程度与细分倍数“D"成正比,换
言之,提高了信号/噪音比。 AMOSIN®系统测量原理是表明,其*不受任何磁滞影响。
主要特征:
● 开放式测量系统
● 联结器电路微型设计
● 无磨损
● 特别适用于动态量程大的设备
● 高精度
● 适用于长轴
● 细分正弦信号为40µm
● 无接触
● 结构坚实,放大器外接
● 长至30米
技术数据:
· 每米线性偏差LMB-100.0=±20μm
LMB-100.1=±10μm
LMB-100.2=±5μm
.解析度10μm至0.125μm
.工作温度0~70℃
.输出讯号1Vpp或方波
机械结构:不锈钢测量尺,带用于固定的粘连层参考点:通常是中点,
任意编号位置,或距离编码
指令说明:
工作温度:0℃~70℃(可按要求设计更大温度范围)存储温度: -20℃~85℃
保护级别:检测头:IP 67
联结器电路/CONNEI联结器:IP 67
联结器电路/15芯 Sub-D联结器:IP 54
振动: 55~2000 Hz时,<400m/s
冲击: 6 ms时,<2000m/s
电源: 见下表
电缆: PUR外包,高韧性,直径 5.3 mm, 5(2×0.05)+1(2×0.14) mm2
(弯曲半径:10×d=50 mm 连续弯曲; 5×d=25 mm一次弯曲)
输出信号:LMK-101.□模拟输出 1Vpp至 120Ω的终端电阻器上。正弦输
出量为 1000µm或 40µm
LMK-102.□TTL输出——分辨率如下表:
可选项: 限位开关功能
外壳上的 LED是安装辅件(按客户需求)大速率
型号 | 输出信号 /分辨率 | 速度 | 电源 5V±5 % |
LMK-101.0 | 1Vpp/1000µm | 10m/s | 260 mA |
LMK-101.3 | 1Vpp/40µm | 10m/s | 260 mA |
LMK-102.0 | TTL/10µm* | 20m/s | 300 mA |
LMK-102.1 | TTL/5µm* | 20m/s | 300 mA |
LMK-102.4 | TTL/1µm* | 10m/s | 300 mA |
LMK-102.5 | TTL/0.25µm* | 2.5m/s | 300 mA |
LMI-100
●检测头 LMK-100-微型设计,带联结器电路
LMK-100-带集成电路(无附图)
●测量尺,直接贴靠在机器底座上。
产品选型:
资料下载:AMO选型资料
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